川崎クリーンルームNX510

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詳細
仕様

NX510は、堅いアーム構造を持ち、狭いスペースで簡単にウェーハのステージに到達できるロボットです。また、任意の位置にあるFOUPも使用できます。 2つまたは3つのFOUPとトラックなしで使用することができ、ISOクラス1の標準を満たし、電圧降下に対する即時解決のSEMI-F47標準システムを満たし、電圧が回復したときの自動システムの再起動、環境と個人の安全、反衝突システム、高い直線性、位置付けと高い精度を提供します。

コントローラーD

Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。

D60コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大16チャンネル。
出力信号：最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

D61コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大12軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大96チャンネル
出力信号：最大80チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

主な仕様

軸数：4
ISOクラス1
リンク：2
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61

動作範囲（°）

θ軸（回転JT2）	330°
	440 mm
Z軸（アップダウンJT3）	832 mm
	336°
X軸（in / out JT4）

W軸 - 下（回転JT6）	-

W軸 - 上（回転JT7）

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図

θ軸（回転JT2）	330°
	440 mm
Z軸（アップダウンJT3）	832 mm
	336°
X軸（in / out JT4）

W軸 - 下（回転JT6）	-

W軸 - 上（回転JT7）