川崎クリーンルームNX520

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詳細
仕様

2リンクのNX520は、FOUPからアライナーまで、そしてダブルアームマニピュレーターを使用してステージまで200時間の高性能スペース（WPH）で容易にウェーハステージに到達できる剛性のダブルアーム構造であり、 ISOクラス1の標準SEMI-F47システムで、電圧が回復したときの自動システムの電圧降下および再開、SEMI-S2環境保護、個人安全、反衝突システムの即時解決が可能です。

コントローラーD

Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。

D60コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大16チャンネル。
出力信号：最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

D61コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大12軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大96チャンネル
出力信号：最大80チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

主な仕様

軸数：5
ISOクラス1
リンク：2
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61

動作範囲（°）

θ軸（回転JT2）	330°
	440 mm
Z軸（アップダウンJT3）	832 mm
	336°
X軸（in / out JT4）

W軸 - 下（回転JT6）	336°

W軸 - 上（回転JT7）

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図