川崎クリーンルームTT220

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詳細
仕様

彼はTT220モデルの伸縮自在水平関節ロボットは、高い位置と低い位置でより速い速度と4つのFOUPへのアクセス能力を可能にするその頑丈な伸縮ベースによって特徴付けられるTTシリーズの一部です。それは速度と性能を最適化するダブルアーム設計とグリッパーを備えています。 SEMI-F47規格に準拠し、電圧が回復したときの電圧降下と自動システムの再起動、環境に対する標準SEMI-S2保護、個人の安全性、衝突防止システムを備えています。

コントローラーD

Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、健康と安全のSEMI S2、ホワイトルームISO 1。

D60コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大16チャンネル。
出力信号：最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

D61コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大12軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大96チャンネル
出力信号：最大80チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

主な仕様

軸数：5
最大到達範囲：1,230 mm
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61
ISOクラス1

動作範囲（°）

θeje（rotaciónJT2）：340°
Z軸（上下JT3）：740 mm
θ軸（回転JT4）：340°
H1軸（回転JT6）：340°（380°）
H2軸（回転JT7）：340°（380°）

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

写真

設計図