FOUP'dan hizalayıcıya kadar 200 wafer / saatlik (WPH) yüksek performans alanı ile kolaylıkla gofret kademelerine erişebilen 2 bağlantılı, sert çift kollu yapıya sahip NX520, ardından çift kollu bir manipülatör ile sahneye standartlar getiriyor gerilim düşürüldüğünde otomatik sistemin yeniden başlatılması, standart SEMI-S2 çevre koruma, kişisel güvenlik, çarpışma önleme sistemi için ISO Sınıf 1, standart SEMI-F47 sistemi.
Denetleyici D
D denetleyicileri, komple bir dijital servo işlemi, standart Ethernet iletişim portu, kompakt ayak izi, farklı yazılımların esnek geliştirilmesi, iki kol ve çok eksenli kontrollerin bağımsız çalışması, tüm eksenler için üniform servo amplifikatörler, standartlar çevresel standartlar içeren temiz oda uygulamaları geliştirmek üzere tasarlanmıştır. , sağlık ve güvenlik SEMI S2, beyaz oda ISO 1.
D60 kontrolörünün özellikleri
- Servo komple dijital sistem
- Kontrollü Eksenler: Maksimum 7 eksen
- Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
- Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
- Donanım: RS232C x 1 Ethernet.
- Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
- Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
- Giriş sinyali: Maksimum 16 kanal.
- Çıkış sinyali: Maksimum 8 kanal
- Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
D61 kontrol cihazının özellikleri
- Servo komple dijital sistem
- Kontrollü Eksenler: Maksimum 12 eksen
- Manuel, yarı otomatik, tam otomatik öğretim.
- Harici acil durdurma, güvenlik yakınında, harici durdurma.
- Donanım: RS232C x 2 Ethernet.
- Yazılım: K-Utility (temiz robotlar için orijinal Kawasaki iletişim komutu).
- Enerji: Gerilim: Tek fazlı, AC208 V ±% 10, 50/60 Hz. Standart: YARI F47.
- Giriş sinyali: Maksimum 96 kanal
- Çıkış sinyali: Maksimum 80 kanal
- Uyumlu robot serileri: NS, NT, NX, TT, TX ve NV
Ana spesifikasyonlar
Eksen sayısı: 5
ISO Sınıf 1
Link: 2
Tekrarlanabilirlik: ± 0.1 mm (gofret merkezi)
Denetleyici: D60 / D61
ISO Sınıf 1
Link: 2
Tekrarlanabilirlik: ± 0.1 mm (gofret merkezi)
Denetleyici: D60 / D61
Hareket aralığı (°)
| θ ekseni (dönüş JT2) |
330 ° |
| 440 mm | |
| Z ekseni (yukarı-aşağı JT3) |
832 mm |
| 336 ° | |
| X ekseni (giriş / çıkış JT4) |
|
| W ekseni - alt (dönüş JT6) |
336 ° |
| W ekseni - üst (dönüş JT7) |
Robot uygulamaları
Temiz oda
