Il 3-link NX540, struttura rigida a braccio singolo che può facilmente raggiungere gli stadi dei wafer con uno spazio ad alte prestazioni di 300 wafer all'ora (WPH) da FOUP all'allineatore, e quindi al palco con un braccio a doppio manipolatore, soddisfa gli standard di Classe ISO 1, sistema SEMI-F47 standard di soluzione immediata alla caduta di tensione e riavvio del sistema automatico quando la tensione viene ripristinata, protezione SEMI-S2 standard per l'ambiente, sicurezza personale, sistema anti-collisione
Controller D
I controller D sono progettati per lo sviluppo di applicazioni clean room comprendenti un processo servo digitale completo, porta di comunicazione Ethernet standard, footprint compatto, sviluppo flessibile di software diversi, funzionamento indipendente di due bracci e controlli multiasse, servoamplificatori uniformi per tutti gli assi, standard ambientali , salute e sicurezza SEMI S2, stanza bianca ISO 1.
Specifiche del controller D60
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 7 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 16 canali.
- Segnale di uscita: massimo di 8 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifica del controller D61
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 12 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: Ethernet RS232C x 2.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 96 canali
- Segnale in uscita: massimo 80 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifiche principali
Numero di assi: 4
Classe ISO 1
Link: 3
Ripetibilità: ± 0,25 mm
Regolatore: D60 / D61
Classe ISO 1
Link: 3
Ripetibilità: ± 0,25 mm
Regolatore: D60 / D61
Intervallo di movimento (°)
| asse θ (rotazione JT2) |
318 ° |
| 440 mm | |
| Asse Z. (JT3 up-down) |
1.232 mm |
| 336 ° | |
| Asse X. (dentro / fuori JT4) |
|
| Asse W - inferiore (rotazione JT6) |
- |
| Asse W - superiore (rotazione JT7) |
Applicazioni robot
Camera pulita
