cleanroom Kawasaki NS511

In attesa di ulteriori scorte

Informazioni
Specifiche

Robot della serie NS progettati per l'applicazione per camera bianca NS511 (montaggio a soffitto con flip) con movimento RTZ con lunghezze facoltative di un asse lineare per una gamma FOUP aggiuntiva. Forniscono alte prestazioni nella gestione di wafer da 300 mm. Il software e l'hardware sono dotati di funzioni di rilevamento delle collisioni e sono conformi agli standard di esonerazione della tensione SEMI F47 e agli standard ambientali, sanitari e di sicurezza di SEMI S2.

Controller D

I controller D sono progettati per lo sviluppo di applicazioni clean room comprendenti un processo servo digitale completo, porta di comunicazione Ethernet standard, footprint compatto, sviluppo flessibile di software diversi, funzionamento indipendente di due bracci e controlli multiasse, servoamplificatori uniformi per tutti gli assi, standard ambientali , salute e sicurezza SEMI S2, stanza bianca ISO 1.

Specifiche del controller D60

Servo sistema digitale completo
Assi controllati: massimo 7 assi
Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Segnale di ingresso: massimo 16 canali.
Segnale di uscita: massimo di 8 canali
Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV

Specifica del controller D61

Servo sistema digitale completo
Assi controllati: massimo 12 assi
Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
Hardware: Ethernet RS232C x 2.
Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Segnale di ingresso: massimo 96 canali
Segnale in uscita: massimo 80 canali
Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV

Specifiche principali

Numero di assi: 4
Classe ISO 5
Ripetibilità: ± 0,1 mm (centro wafer)
Regolatore: D60 / D61

Intervallo di movimento (°)

Asse Y (viaggio JT1): -
asse θ (rotazione JT2): 473 °
Asse Z (JT3 su-giù): 440 mm
Asse X (JT4 su-giù): 816,5 mm
Asse F (rotazione JT5): 200 °

Applicazioni robot

Camera pulita

Applicazioni

Manipolazione di pezzi , Assemblaggio di parti

Immagini

Diagrammi